| 設(shè)備名稱(chēng)型號(hào) | 三靶等離子磁控濺射鍍膜儀（可選直流射頻電源）-VTC-3RF |
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| 主要特點(diǎn) | · 標(biāo)配的石英腔體（也可選配金屬腔體）方便觀(guān)察 · 相比傳統(tǒng)濺射儀，拆裝方便 · 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)加熱 · 可濺射金屬和氧化物 |
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| 基本參數(shù) | ·電源：AC 220V 50/60HZ ·功率：＜2.4KW ·包括 13.5 MHz、帶手動(dòng)匹配的 100 W 射頻發(fā)生器，并連接到濺射頭 ·連續(xù)工作時(shí)間：
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| 濺射靶頭 | · 三個(gè)1英寸或者2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接 · 靶材尺寸: 1英寸靶頭要求：φ25.4mm*（0.1-3mm）厚度 2英寸靶頭要求：φ50mm*（0.1-3mm）厚度 · 1英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率：100W，可承受最大直流功率：250W ·2英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率：300W，可承受最大直流功率：500W ·法蘭上內(nèi)置一個(gè)手動(dòng)操作的百葉窗 ·包括 10 L/min 循環(huán)冷水機(jī)組，用于冷卻濺射頭 ·靶頭可傾斜角度：0-25°可調(diào) ·靶材與樣品臺(tái)之間的距離可調(diào)
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| 濺射靶材 | ·目標(biāo)尺寸要求：最大 1“ 直徑 x 1/8” 厚度 ·濺射距離范圍：50 – 80 mm 可調(diào) ·濺射角度范圍：0 – 25°可調(diào) ·包括 1“ 直徑的銅靶和 Al2O3 靶，用于演示測(cè)試 ·可根據(jù)要求提供各種氧化物 1“ 濺射靶材，但需額外付費(fèi) ·對(duì)于靶材粘接，包括 1 mm 和 2 mm 銅背板。 |
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| 真空腔室與法蘭 | ·真空室：外徑 256 毫米 x 內(nèi)徑 238 毫米 x 高度 276 毫米，由高純度石英制成 ·密封法蘭：直徑274毫米鋁制，帶高溫硅膠O型圈 ·包括不銹鋼屏蔽籠，用于 100% 屏蔽來(lái)自腔室的射頻輻射 ·法蘭蓋上安裝了一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射，法蘭蓋上包含一個(gè)φ6.35的卡套接頭用于連接進(jìn)氣管。 ·一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體 ·腔室真空度：<1.0×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-5torr （采渦旋分子泵） ·如果需要更高真空度，可以定做不銹鋼真空腔室（真空度可以達(dá)到5*10-6torr以下） ·一個(gè)升降開(kāi)關(guān)控制上法蘭的升降
· 腔體進(jìn)氣口為Φ6.35mm的不銹鋼雙卡套接頭，通過(guò)聚四氟管可與氣瓶連接，并通過(guò)一個(gè)精密微量調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)氣量的大小。 |
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| 可旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái) | · 載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱 · 載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm （最大可放置2英寸的基片） · 旋轉(zhuǎn)速度：1- 10 rpm（可調(diào)速） · 樣品臺(tái)的最高加熱溫度為：700℃＜1h 500℃可長(zhǎng)期使用 · 控溫精度：±10℃ · 樣品臺(tái)加熱功率：120W · 一款YD518P型溫度控制器 · PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) · 智能化30段可編程控制 · 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 · 通過(guò)MET認(rèn)證 · 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線(xiàn)和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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| 射頻/直流電源 |
· 設(shè)備擁有兩根同軸電纜：直流電源同軸電纜和射頻電源同軸電纜 · 射頻/直流電源可隨意更換：將直流或者射頻同軸電纜連接在轉(zhuǎn)換器上，即可使用轉(zhuǎn)換器控制靶頭濺射 · 每次只能由一個(gè)靶頭濺射，且每次切換靶頭濺射時(shí)，需先暫停射頻/直流電源 |
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| 真空顯示單元 | · 真空計(jì)型號(hào)：ZDZ-52T · 測(cè)量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa · 有效范圍：3.0×103Pa~1.0×100Pa · 配接硅管：ZJ-52T/KF16 · 面板尺寸：96*96 mm · 真空計(jì)配套的規(guī)管只能測(cè)量空氣和氮?dú)猓衅渌麣怏w成分比例較大的場(chǎng)合需另外修正。 |
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| 真空系統(tǒng)（選配） | · 抽真空接口為KF25接口 · 真空泵型號(hào)：VRD-16 · 抽氣速率：4.4 L/S · 電機(jī)功率：750 W · 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載）
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| 薄膜測(cè)厚儀（可選） | · 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號(hào)：KJ-5000 · 工作電流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（長(zhǎng)×寬×高） · 水箱容量：6L · 水流速率：16L/min
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| 設(shè)備外形尺寸 | 700*700*1900mm（長(zhǎng)*寬*高)
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| 重量 | 約80KG |
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| 使用提示 | · 為了達(dá)到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺(tái)的潔凈 · 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面，可選購(gòu)本公司的清洗設(shè)備進(jìn)行清潔 |
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| 注意事項(xiàng) | · 石英腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英腔室通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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| 應(yīng)用說(shuō)明 | · 這款緊湊型 1“ RF 磁控濺射鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)用于在氧化物單晶基板上鍍膜氧化物薄膜，通常不需要高真空設(shè)置 · 氣瓶上應(yīng)安裝兩級(jí)減壓閥（不包括在內(nèi)），將氣體的輸出壓力限制在0.02MPa以下，以確保安全使用。請(qǐng)使用>5N純度的氬氣進(jìn)行等離子濺射 · 為了獲得最佳的薄膜-基材粘合強(qiáng)度，請(qǐng)?jiān)谕坎记扒鍧嵒谋砻?/span>：
· 為了獲得最佳性能，非導(dǎo)電靶材必須安裝銅背板。請(qǐng)參閱下面的說(shuō)明視頻，了解目標(biāo)粘接 |
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