| 產(chǎn)品特點 | ·清洗面積較大，大達300×300mm ·樣品倉門自動開關(guān) ·可移除基片表面各種污染物 ·樣品臺可加熱，最高溫度150℃ ·觸摸屏控制面板，可設(shè)置和現(xiàn)實各種參數(shù) |
| 電源要求 | ·AC220V，50/60Hz ·總功率：950W |
| UV燈 | ·設(shè)備中包含一臺雙波長汞燈 ·波長：253.7nm和184.9nm ·UV燈使用壽命：5000小時 ·UV燈罩區(qū)域：300×350mm ·可清洗基片最大尺寸為12英寸，35mm厚度 ·UV燈單獨包裝，防止運輸中損壞 ·UV燈不在質(zhì)保范圍內(nèi)
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| 腔體&樣品臺 | ·不銹鋼殼體 ·自動滑動抽屜樣品倉 ·樣品臺面積450×450mm ·最大樣品厚度：40mm ·一個臭氧排除裝置安裝在腔體中 ·時間設(shè)置范圍：0.01秒~99.9小時 |
| 加熱型樣品臺 | ·加熱臺最高溫度可達150℃，程序控溫 ·可設(shè)置30段溫度段，控溫精度±2℃ ·最大加熱速率：15℃/min ·樣品臺和UV燈關(guān)之間的距離可調(diào)節(jié)：20~40mm ·可選加熱溫度達到300℃，控溫精度±0.1mm |
| 排氣口 | ·一個直徑為75mm的排氣口在設(shè)備后部 ·配有3米的柔性排氣管道
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| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終身維護 ·UV燈管不在質(zhì)保范圍內(nèi) |
| 應(yīng)用 | ·清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃 ·清洗各種氧化物單晶片，如藍(lán)寶石，STO和LAO ·清洗Au和Pt基片 ·輕金屬材料表面氧化 ·活化聚合物材料 ·UV去除光刻膠 ·UV清洗LED顯示屏 |
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