| 設(shè)備名稱與型號(hào) | 2英寸等離子磁控鍍膜儀 （可選直流射頻電源)-VTC-2RF |
| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50HZ · 功率：＜1800W |
| 射頻電源 | · 輸入電源：220V 3A · 輸出功率：0-300W · 輸出頻率：13.56 MHZ · 冷卻方式：設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷 · 尺寸：444（長(zhǎng)）*410（寬）*128（高）
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| 磁控濺射頭 | · 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接 · 靶材尺寸要求：φ50*（0.1-5）mm厚 · 2英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率：300W · 2英寸磁控濺射頭可承受最大直流功率：500W |
| 濺射腔室 | ·腔室尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*高250mm，采用高純石英制作 · 密封法蘭:直徑為174mm 采用金屬鋁制作，采用氟膠密封圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射，法蘭蓋上包含一個(gè)φ6.35的卡套接頭用于連接進(jìn)氣管。 · 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體 · 腔室真空度：<1.0×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-5 torr （采渦旋分子泵） · 如果需要更高真空度，可以定做不銹鋼真空腔室（真空度可以達(dá)到5*10-6torr以下）
· 腔體進(jìn)氣口為Φ6.35mm的不銹鋼雙卡套接頭，通過(guò)聚四氟管可與氣瓶連接，并通過(guò)一個(gè)精密微量調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)氣量的大小。 |
| 樣品臺(tái) | · 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱 · 樣品臺(tái)尺寸：直徑50mm （最大可放置2英寸的基片） · 旋轉(zhuǎn)速度：1- 10 rpm（可調(diào)速） · 樣品臺(tái)的最高加熱溫度為700℃(短期使用，恒溫不超過(guò)1小時(shí))，長(zhǎng)期使用溫度500℃ · 控溫精度：±10℃
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| 真空顯示單元 | · 真空計(jì)型號(hào)：ZDZ-52T · 測(cè)量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa · 有效范圍：3.0×103Pa~1.0×100Pa · 配接硅管：ZJ-52T/KF16 · 面板尺寸：96*96 mm · 真空計(jì)配套的規(guī)管只能測(cè)量空氣和氮?dú)猓衅渌麣怏w成分比例較大的場(chǎng)合需另外修正。 |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 抽真空接口為KF25接口 · 真空泵型號(hào)：VRD-16 · 抽氣速率：4.4 L/S · 電機(jī)功率：750 W · 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載） |
| 水冷設(shè)備（選配） | · 型號(hào)：KJ-5000 · 工作電流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（長(zhǎng)×寬×高） · 水箱容量：6L · 水流速率：16L/min
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| 薄膜測(cè)厚儀（可選） ? | · 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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| 外形尺寸 | 設(shè)備尺寸：長(zhǎng)550mm×寬550m×高1100mm 爐架尺寸：長(zhǎng)600mm×寬600m×高600mm
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| 重量 | 約55KG |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包密封圈等損耗件） |
注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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