1200℃三溫區(qū)九通道質(zhì)子混氣高真空管式CVD爐（可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）__產(chǎn)品中心

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A-Z晶體及材料加熱爐系列樣品處理設(shè)備電池制備設(shè)備分析檢測(cè)設(shè)備其他實(shí)驗(yàn)室設(shè)備技術(shù)支持/服務(wù)培訓(xùn)

加熱爐設(shè)備
晶體及材料
破碎/球磨設(shè)備
壓片設(shè)備
輥壓設(shè)備
切割設(shè)備
磨拋設(shè)備
清洗設(shè)備
電池研發(fā)設(shè)備
薄膜制備
配件
其它實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

熱處理設(shè)備: 管式爐箱式爐箱管混合

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加熱方式: 電阻加熱紅外燈管加熱感應(yīng)加熱微波加熱

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加熱形式: 常規(guī)爐立式箱管混合式回轉(zhuǎn)爐

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加熱溫度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加熱溫區(qū): 單溫區(qū) 雙溫區(qū) 三溫區(qū) 多溫區(qū) 感應(yīng)加熱專用

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管徑: ф?25 ф?50 ф?60 ф?80 ф?100 ф?120及以上

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1200℃三溫區(qū)九通道質(zhì)子混氣高真空管式CVD爐（可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）

型號(hào)：: OTF-1200X-4-III-9HV
產(chǎn)品概述：: OTF-1200X-4-III-9HV是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐，九路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其最高工作溫度可達(dá)1200℃，極限真空度可達(dá) 10-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV （2019.12.12—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 圖片未及時(shí)更新提示 多種配件可選提示 危險(xiǎn)設(shè)備操作提示

主要特點(diǎn)

? 高熔點(diǎn)物質(zhì)能夠在低溫下合成

? 可生長(zhǎng)單晶、多晶、晶須、粉末、薄膜等多種物質(zhì)

? 不僅可以在基片上進(jìn)行生長(zhǎng)，還可以在粉體表面生長(zhǎng)

? 雙層殼體結(jié)構(gòu)，便帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

? 三個(gè)溫區(qū)，可以獨(dú)立控溫

基本參數(shù)

一、加熱爐

? 溫度：1100℃（1200℃＜1h）

? 總溫區(qū)長(zhǎng)度: 880mm（220 mm + 440 mm + 220 mm ）

? 升溫速率：≤10℃/min

? 三個(gè)精密溫度控制器分別控制三個(gè)溫區(qū)

? 恒溫精度：±1℃

? 熱偶：K型熱偶

? 電源：AC208-240 50/60Hz

? 功率：最大7KW

二、供氣系統(tǒng)

產(chǎn)品	二通道	三通道	四通道	五通道	九通道
工作溫度	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃	5-45℃
最大壓力	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa	3*10^6 Pa
精度	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS	±1.5% FS
重復(fù)精度	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS	±0.2%FS
流量范圍	一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM	一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五路：1~499 SCCM	3路:0~100SCCM 3路:1~199SCCM 3路:10~1000SCCM
注意	其他流量范圍的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需額外費(fèi)用				五-九路可按照客戶要求定制

三、高真空機(jī)組

產(chǎn)品	國(guó)產(chǎn)分子泵	愛(ài)德華分子泵
抽氣速率	·N2 33 L/s ·He 39 L/s ·H2 32 L/s	·N2 42 L/s ·He 49 L/s ·H2 45 L/s
系統(tǒng)極限真空度	<1E-4 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-2Pa)	<1E-6 Pa (配和本公司管式爐使用可達(dá)到1E-4Pa)
分子泵組成	RVP-4機(jī)械泵和F-100/110分子泵	隔膜泵和斡旋分子泵
使用電壓和功率	電壓：200~240V 輸出功率：150W	電壓：185-265V 輸出功率：100W
移動(dòng)殼體尺寸:	600(L)x600(W)x750(H)mm	600(L)x600(W)x750(H)mm

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

加熱元件和溫控系統(tǒng)

? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命）

? 包含一款YD858P型溫度控制器

? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

? 智能化50段可編程控制

? 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

? 通過(guò)MET認(rèn)證

? 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

爐體結(jié)構(gòu)和爐管尺寸

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命）

? 高純石英管

? 尺寸：外徑: 100 ×長(zhǎng): 1000 mm

尺寸

? 加熱爐外形尺寸：1000 L x 430 W x 700 H mm

? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

? 高真空機(jī)組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

重量

? 加熱爐約45Kg

? 供氣系統(tǒng)約36Kg

? 真空機(jī)組約60Kg

認(rèn)證

? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

質(zhì)保

? 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

? 特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

儀表操作視頻

應(yīng)用技術(shù)提示

1、供氣系統(tǒng)應(yīng)用提示

? 嚴(yán)禁氧氣和氫氣同時(shí)使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請(qǐng)嚴(yán)格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時(shí)，應(yīng)關(guān)閉閥門。

? 第一次使用，或長(zhǎng)時(shí)間不用再次使用時(shí)，請(qǐng)分別點(diǎn)擊二個(gè)“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進(jìn)行吹洗。

? 流量計(jì)通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應(yīng)無(wú)水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明。

? 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設(shè)備損壞公司售后維修會(huì)收取相應(yīng)的費(fèi)用。

? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應(yīng)采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等）

? 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開(kāi)啟氣瓶時(shí)，操作者應(yīng)站在閥口的側(cè)后方，動(dòng)作要輕緩。

? 氣瓶應(yīng)放置在陰涼通風(fēng)處，避免陽(yáng)光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴(yán)禁將氣瓶和高溫設(shè)備放在一起。

? 嚴(yán)禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。

? 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。

2、加熱爐應(yīng)用提示

? 不能超溫使用加熱爐。

? 升溫速度不可超過(guò)規(guī)定加熱速度，否則會(huì)造成加熱元件損壞。

? 如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

? 為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解如何使用

3、高真空機(jī)組應(yīng)用提示

? 分子泵關(guān)閉以后，必須等待分子泵渦輪停止后才能斷電。

? 建議分子泵與腔體間安裝有閥門，一旦實(shí)驗(yàn)腔體出現(xiàn)意外，可以直接關(guān)閉閥門保護(hù)分子泵。

? 分子泵上顯示的真空度僅代表分子泵進(jìn)氣口端的真空度。

警示

1、供氣系統(tǒng)注意事項(xiàng)

? 不要放在不平或有震動(dòng)的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設(shè)備不穩(wěn)而傾倒的危險(xiǎn)。

? 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進(jìn)設(shè)備內(nèi)部，否則有使設(shè)備發(fā)生短路或火災(zāi)的危險(xiǎn)。

? 不要放在容易濺上水的場(chǎng)所，水等進(jìn)入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災(zāi)、觸電事故。

? 設(shè)備的控制電路部分要進(jìn)行定期檢查（半年檢查一次），對(duì)線路進(jìn)行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時(shí)應(yīng)及時(shí)處理，否則會(huì)導(dǎo)致設(shè)備短路或發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。

? 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴(yán)禁將線頭或金屬物遺留在設(shè)備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災(zāi)的危險(xiǎn)。

2、加熱爐注意事項(xiàng)

? 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成儀器短路

? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

? 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

? 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

3、高真空機(jī)組注意事項(xiàng)

? 使用前請(qǐng)仔細(xì)閱讀說(shuō)明書，防止操作不當(dāng)將導(dǎo)致儀器損壞。

? 真空泵不可以抽腐蝕性或爆炸性氣體。

? 真空泵不可以抽冷凝蒸氣。

? 真空泵不可以抽液體。

? 真空泵不可以抽粉塵。

? 真空泵不可以抽高溫氣體。

? 請(qǐng)不要在潛在的爆炸區(qū)域進(jìn)行操作。

? 為了保護(hù)環(huán)境和人體健康，請(qǐng)使用尾氣過(guò)濾器，以盡量減少排放污染物。

? 為保護(hù)真空泵免受冷凝蒸氣或小顆粒的損壞，請(qǐng)將冷阱或微粒捕集器連接到泵的前級(jí)管上

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