| 設(shè)備名稱 | 帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實驗室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 |
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| 產(chǎn)品特點 | ? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞； ? 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果； ? 爐體有兩個溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個溫區(qū)最大溫差為400℃； ? 帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 |
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| 加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作最高溫度為1100℃ ? 兩個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個溫區(qū)最大溫差為：400℃ ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料） ? 工作電源：208-240V AC單相，最大功率：4KW
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 預(yù)熱爐參數(shù) | ? 最高溫度：1100℃； ? PID溫度控制器及50段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐，也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
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| 電動滑軌 | ? 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果 ? 滑動速度：0-70 mm/s（可調(diào)） |
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| 升降溫速率 | ? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買） ? 為獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H ? 滑軌長度：1750 mm ? 凈重：220 Lbs |
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
科晶應(yīng)用技術(shù)實驗室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）條件下沉積Sb2Se3薄膜，實驗結(jié)果如下：
組別 | SEM結(jié)果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經(jīng)任何處理的樣品 |
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| 40.01 | 59.99 |
等離子體處理 |
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| 41.04 | 58.96 |
等離子體處理 min |
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| 41.64 | 58.36 |
等離子體處理5 min |
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| 41.86 | 58.14 |
小結(jié):
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結(jié)果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 40.01 | 59.99 |
75W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 | |
75W、且補充2粉末（10%質(zhì)量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結(jié):
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當SnSe2質(zhì)量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結(jié)果
警示 | ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa； ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | ? 通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ? 加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 |
防腐型真空表 （可選） | ? 輸入電源24V，1A DC（配有電壓轉(zhuǎn)換器）； ? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr； ? 數(shù)據(jù)顯示：數(shù)顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr ? 連接：1/8"NPT 接頭 ? 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)
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爐管 | ? 石英管尺寸：50mm OD′44mm ID′2200mm L
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溫儀表 （可選） | ? 單回路、雙回路和三回路控制模式； ? 每個回路可實現(xiàn)雙輸入，雙保護； ? 各回路可PID、串級、比率等回路控制； ? 數(shù)碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數(shù)修改； ? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設(shè)定值（即3條不同的曲線），最多可設(shè)置500段升降溫程序； ? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠程控制。
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真空系統(tǒng) （可選） | ? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設(shè)備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。
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供氣系統(tǒng) （可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計可供選擇，以實現(xiàn)氣體流量的精確控制。
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