| 設備名稱 | ? 1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實驗室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示 |
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| 展示 |
30ml粉料 |
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| 產(chǎn)品特點 | ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性； ? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控； ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。 |
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| 工作電源 | ? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz ? 總功率：<4KW |
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| 加熱爐參數(shù) | ? 最高溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃； ? 兩個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 工作電壓：110V； ? 額定功率：1.5KW； ? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。 更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。 |
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。 |
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| 循環(huán)水冷機 | ? 標配KJ-5000循環(huán)水冷機，水流速率：16L/min |
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1400mm L′600mm W′1240mm H ? 凈重：90 kg |
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 |
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
科晶應用技術(shù)實驗室利用PECVD沉積Sb2Se3薄膜，實驗結(jié)果如下：
SEM結(jié)果 | ||||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經(jīng)任何處理的樣品
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| 40.01 | 59.99 |
75W等離子體處理5 min
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| 41.04 | 58.96 |
150 W等離子體處理5 min
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| 41.64 | 58.36 |
300 W等離子體處理5 min
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| 41.86 | 58.14 |
小結(jié):
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結(jié)果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、3Pa條件下沉積Sb2Se3
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| 40.01 | 59.99 |
75W、133Pa條件下沉積Sb2Se3
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 |
75W、3Pa且補充0.02g SnSe2粉末（10%質(zhì)量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結(jié):
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當SnSe2質(zhì)量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于1的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結(jié)果： 
警示 | ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02 MPa； ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 |
應用技術(shù)提示 | ? 通入爐內(nèi)氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ? 加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 |
石英管 | ? 高純異形石英管 ? 尺寸：50 mm OD（兩端）′60mm ID（中間）′1100mm L | ||||||
密封法蘭 | ? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）； ? 磁流體密封旋轉(zhuǎn)接頭安裝在兩端，以保證旋轉(zhuǎn)過程中進氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞。 配件法蘭1 配件法蘭2 | ||||||
進料/收料器 | ? EQ-PF-1S是一款容積式自動進料器，包含電動攪拌器及帶有振動裝置的不銹鋼料斗，可實現(xiàn)固體粉料的自動化進料，從而實現(xiàn)固態(tài)粉料的連續(xù)式燒結(jié)/熱處理； ? 2L不銹鋼收集桶安裝在右側(cè)，可實現(xiàn)真空氣氛保護環(huán)境下的粉料樣品收集（標配中包含） 進料器 收料器 | ||||||
防腐型真空表（可選） | ? 輸入電源24V，1A DC（配有電壓轉(zhuǎn)換器）； ? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr； ? 數(shù)據(jù)顯示：數(shù)顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr ? 連接：1/8"NPT 接頭 ? 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H) | ||||||
水冷機（可選） | ? 工作電壓：220V AC 50Hz ? 工作電流：220V，0.8~4.5A ? 壓縮機功率：0.6 KW (0.8HP) ? 制冷量：2000W (7000Btu/hour) ? 冷卻劑：R22/R410-a (650g) ? 溫度控制：5~30℃ ? 控溫精度：±0.3℃ ? 水流速率：16 L / min ( 高25m，35psi ) | ||||||
控溫儀表（可選） | ? 單回路、雙回路和三回路控制模式； ? 每個回路可實現(xiàn)雙輸入，雙保護； ? 各回路可PID、串級、比率等回路控制； ? 數(shù)碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數(shù)修改； ? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設定值（即3條不同的曲線），最多可設置500段升降溫程序； ? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠程控制。 | ||||||
真空系統(tǒng)（可選） | ? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。
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供氣系統(tǒng)（可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質(zhì)子流量計可供選擇，以實現(xiàn)氣體流量的精確控制。
單通道浮子 單通道質(zhì)子 兩通道浮子 兩通道質(zhì)子 多通道浮子（防腐） |
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