實驗名稱：快速蒸鋁

實驗目的：1h內(nèi)實現(xiàn)一次快速蒸鋁

實驗設(shè)備：GSL-1700X-SPC-2

工藝參數(shù)：5min加熱至1100℃，550℃等待追溫且恒溫2分鐘，玻璃罩出現(xiàn)銀色金屬膜時打開擋板蒸鍍1分鐘，蒸鍍結(jié)束關(guān)閉擋板，停止程序，蒸鍍前真空度為6.1*10-5Pa。

實驗照片:

圖1-1蒸鍍中                  圖1-2蒸鍍后                   圖1-3蒸鍍后

      圖2-1蒸鍍前真空度                           圖2-2蒸鍍前                                圖2-3蒸鍍后

實驗結(jié)果：

1、成功在玻璃基底上蒸鍍鋁膜；

2、鋁膜極易氧化，蒸鍍結(jié)束需要立刻停止程序，且降溫全程保持分子泵運行；

3、取樣時，用惰性氣體代替空氣向真空腔體內(nèi)補壓；

4、鍍膜后的樣品需要及時隔氧保護，以免發(fā)生氧化。

特別聲明：

1. 以上所有實驗僅為初步探究，僅供參考。由于我們水平有限，錯誤疏漏之處歡迎指出，我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實驗思路，我們來驗證。

3. 以上實驗案例及數(shù)據(jù)只針對科晶設(shè)備，不具有普遍性。

4. 因為涉及保密問題，以上數(shù)據(jù)僅為部分數(shù)據(jù)，歡迎老師與我們聯(lián)系，我們非常期待和您共同探討設(shè)備的應用技術(shù)。